Mit dem hier vorliegenden Lehrbuch soll dem Leser ein Hilfsmittel zur Verfügung gestellt werden, dass es ihm ermöglicht, den Stand der Technik kennen zu lernen und Mikrosysteme erfolgreich einzusetzen. Hierzu
wird versucht die Grundlagen, sprich die Technologie, nur soweit zu behandeln, wie es aus Anwendersicht nützlich ist. Bei der Signalauswertung wurde bewusst nur die analoge Signalaufbereitung beleuchtet, um den Umfang des Buches nicht zu sprengen.
Das nachfolgende Lehrbuch beruht auf dem Vorlesungsstoff des Vorlesungsmoduls Mikrosystemtechnik im Bachelorstudiengang Elektrotechnik, welches an der FH Bielefeld im 6. Semester gehalten wird. Das Vorlesungsmodul beinhaltet ein Praktikum, das sich mit dem Aufbau und der Charakterisierung eines Beschleunigungssensormoduls beschäftigt. Die Anleitung zu diesem Praktikum ist am Ende des Buches zu finden.
wird versucht die Grundlagen, sprich die Technologie, nur soweit zu behandeln, wie es aus Anwendersicht nützlich ist. Bei der Signalauswertung wurde bewusst nur die analoge Signalaufbereitung beleuchtet, um den Umfang des Buches nicht zu sprengen.
Das nachfolgende Lehrbuch beruht auf dem Vorlesungsstoff des Vorlesungsmoduls Mikrosystemtechnik im Bachelorstudiengang Elektrotechnik, welches an der FH Bielefeld im 6. Semester gehalten wird. Das Vorlesungsmodul beinhaltet ein Praktikum, das sich mit dem Aufbau und der Charakterisierung eines Beschleunigungssensormoduls beschäftigt. Die Anleitung zu diesem Praktikum ist am Ende des Buches zu finden.
